氮化硅薄膜窗特點(diǎn)• 低應(yīng)力的8, 15 , 50nm厚的氮化硅支撐膜:50nm厚的薄膜具有最大的視野范圍;8nm和15nm厚的無孔氮化硅薄膜適用于tem超高分辨率的應(yīng)用• 氮化硅支撐膜:低應(yīng)力的lpcvd非化學(xué)計(jì)量比氮化硅薄膜,良好的平整度、絕緣性和疏水性• 良好的化學(xué)穩(wěn)定性:圖像分辨率和機(jī)械強(qiáng)度達(dá)到理想的平衡;• 均勻性:減少了不同區(qū)域的不均勻性;
更新時(shí)間:2025-08-15