上海伯東德國(guó) pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ath 1600-3200m, atp 2300m: 抽速范圍在 1400-2800l/s 的磁懸浮渦輪分子泵. ath 系列磁懸浮分子泵擁有5軸磁軸承監(jiān)測(cè)系統(tǒng)和實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)子位移自動(dòng)修正功能確保長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定性和可靠性, 同時(shí)運(yùn)行時(shí)也非常安靜. 磁懸浮渦輪分子泵 ath 系列廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體, 鍍膜和離子刻蝕等行業(yè).