s mart的重量約只有s neox的一半(6kg),加上緊湊的外觀使的它在安裝上有更多選擇,例如可以直接在生產(chǎn)在線安裝做分析等。一般來說,在生產(chǎn)的環(huán)境中通常都會有震動或有害物質(zhì)污染等因素而不適合放置量測儀器,但s mart在開發(fā)時已經(jīng)考慮這些因素,一體成形的設計使得它能承受外部污染或震動影響。
kosaka et200基于 windows xp操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析,包括半導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、mems、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學器件、薄膜/化學涂層以及平板顯示等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高精度表面形貌分析應用。et200 能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。
μscan采用模塊化設計,特點是快速測量、不接觸、不破壞、自動化,μscan的中心部件掃描模塊(x/y方向樣品掃描)可以和不同的傳感器,(z方向測量)連用,如confocal point sensor、autofocus sensor、chromatic white light sensor、holographic sensor等。