fastmicro 晶圓表面顆粒物快速檢測系統(tǒng),為各行業(yè)產(chǎn)品表面顆粒污染物直接測量而設(shè)計,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體域的晶圓、薄膜及光罩檢測,也可用于顯示市場等基板檢測。該系統(tǒng)配備 4-12 英寸視場(fov)掃描區(qū)域,支持上下表面檢測。其獨特光學(xué)設(shè)計使產(chǎn)品在計量過程中無需移動即可完成檢測。該系統(tǒng)可根據(jù)不同生產(chǎn)工藝需求進行定制,或直接集成至產(chǎn)線
更新時間:2025-12-12