lumina at1可以在4分鐘內(nèi)完成150毫米晶圓的掃描,對于基底上下表面的顆粒、凸起、凹陷、劃痕、內(nèi)含物等缺陷均可一次性成像。在透明基底,如玻璃,化合物半導(dǎo)體如氮化鎵、砷化鎵、碳化硅等樣品上有獨特的優(yōu)勢。也可用于薄膜涂層的成像厚度變化的全表面掃描。大樣品300 x 300 mm。
lumina at2可以在3分鐘內(nèi)完成300毫米晶圓的掃描,對于基底上下表面的顆粒、凸起、凹陷、劃痕、內(nèi)含物等缺陷均可一次性成像。在透明基底,如玻璃,化合物半導(dǎo)體如氮化鎵、砷化鎵、碳化硅等樣品上有獨特的優(yōu)勢。也可用于薄膜涂層的成像厚度變化的全表面掃描。大樣品300 x 300 mm。
lumina at2-efem可以在2分鐘內(nèi)完成300毫米晶圓的掃描,對于基底上下表面的顆粒、凸起、凹陷、劃痕、內(nèi)含物等缺陷均可一次性成像。在透明基底,如玻璃,化合物半導(dǎo)體如氮化鎵、砷化鎵、碳化硅等樣品上有獨特的優(yōu)勢。也可用于薄膜涂層的成像厚度變化的全表面掃描。大樣品300 x 300 mm。
film sense 多波長橢偏儀通過簡單的 1 測量,可以以高的精度和精度測定大多數(shù)透明薄膜的薄膜厚度和折射率并對許多樣品進行光學(xué)常數(shù) n&k 等薄膜性質(zhì)的測量。多波長橢偏儀提供了強大的薄膜測量功能售價只是單一波長橢偏儀和光譜橢偏儀的中等水平。film sense 偏儀非常適合在研究實驗室教室,現(xiàn)場處理室,工業(yè)質(zhì)量控制等等。
gauge原子力顯微鏡作為世界上第一臺單芯片(single-chip)afm,是加拿大滑鐵盧大學(xué)(darpa聯(lián)合項目)近十年的研發(fā)成果。single-chip技術(shù)通過cmosmems工藝將afm的所有組件(精細xyz運動和納米級感測)集成到單個1mm x 1 mm的芯片
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