產(chǎn)品應(yīng)用：
水生物飼養(yǎng)系統(tǒng) 廣泛適用于科研、教學(xué)等領(lǐng)域中，用于水中生物的培育、飼養(yǎng)、繁殖繁育。
整個系統(tǒng)耐海水設(shè)計(jì)？梢杂糜诤、淡水、苦咸水等環(huán)境。
每個水槽養(yǎng)殖單元，可單獨(dú)抽出來進(jìn)行清洗消毒。
每個水槽養(yǎng)殖單元循環(huán)水量、供氧量都獨(dú)立可控。
每個水槽養(yǎng)殖單元的水質(zhì)水溫可以一致，方便進(jìn)行對比實(shí)驗(yàn)。
底架采用316L或304不銹鋼制作。
水槽養(yǎng)殖單元的材質(zhì)可以是玻璃、PP（聚丙烯）、PC等等。
水槽養(yǎng)殖單元尺寸可依客戶要求定制，水質(zhì)處理系統(tǒng)配置可依客戶要求定制。
Walter-voss旋轉(zhuǎn)氣缸 Walter-voss馬達(dá) Walter-voss角行程執(zhí)行器 Walter Voss液壓驅(qū)動系統(tǒng) Walter-voss水液壓元件Walter-voss溢流閥 Walter-voss節(jié)流閥 Walter-voss壓力閥 Walter-voss比例閥 Walter-voss止回閥
Walter-voss旋轉(zhuǎn)氣缸型號：HDZ50、HDZ63-10/120DSo、HDZ80、HDZ100、HDZ125、HDZ140、HDZ160、HDZ200、ASM40、ASM50、ASM63-F10-V27、ASM80、ASM100、ASM125、ASM140、ASM160、ZD40、ZD50、ZD63、ZD100/1.0/NWV180DV、ZD125、ZD140、ZD160、ZD200
Walter Voss的水液壓元件和液壓驅(qū)動系統(tǒng)幾乎在所有行業(yè)中使用，如：鋼鐵行業(yè)，電廠技術(shù)，橡膠工業(yè)，水力發(fā)電廠技術(shù)，塑料加工，近海及海岸工程，核電廠技術(shù)，食品行業(yè)等。
上海鉑鱗貿(mào)易有限公司位于上海，國外有分公司，我們準(zhǔn)們致力于從德國、美國及歐洲其他工業(yè)國家進(jìn)口各種工業(yè)產(chǎn)品備件及設(shè)備，只要您提供品牌和型號，我們便可以為您報(bào)出最優(yōu)惠的價格！期待您的咨詢！
聯(lián)系人：王振（銷售跟單）
電話：手機(jī)：15502113278 傳真：
QQ：2042267893 郵箱：wz@berling.com.cn 公司地址：上海市徐匯區(qū)斜土路2601號T1幢10D室
上海鉑鱗優(yōu)勢品牌：
美國：airpel氣缸 dynalco儀表 sprague泵 pearson電流傳感器 gems電磁閥 murphy儀表 BISON電機(jī) murr接頭 nugent硅藻土濾芯30-150-207 nordson泵 Topworx限位開關(guān) REXNORD軸承 NUMATICS電磁閥 ACOPIAN電源 AMI氧分析儀
德國：mahle過濾器、濾芯 FSG傳感器 smw卡盤 gelbau安全開關(guān) jumo傳感器 burster傳感器 TURCK接近開關(guān) inducoder編碼器 ADDAMCZEWSKI放大器 MAYSER繼電器 BUHLER傳感器、液位開關(guān) DI-SORIC接近開關(guān)、傳感器 mgv電源 jbw電機(jī)
英國：westlock閥門控制器、開關(guān) sprint-electric 驅(qū)動器 Rocoil線圈 積分器
芬蘭：KONEPAJA KETOLA油缸密封件
歡迎詢價，合作！
校園一鍵式報(bào)警器- 校園一鍵式報(bào)警器 |校園一鍵報(bào)警器
1、一鍵緊急求助系統(tǒng)通過在每一層樓的學(xué)生宿舍內(nèi)配置多個緊急報(bào)警按鈕，接入放置在每層學(xué)生宿舍中的報(bào)警主機(jī)，通過大樓內(nèi)報(bào)警主機(jī)將求救信號給保衛(wèi)中心。
2防盜報(bào)警系統(tǒng)根據(jù)校保衛(wèi)處的要求，學(xué)生公寓里面全部采用安裝一鍵式緊急按鈕，用作緊急求助，使用報(bào)警主機(jī)多個房間緊急按鈕，
3、聯(lián)動視頻通過NVR/DVR多路視頻聯(lián)動與防區(qū)捆綁，實(shí)現(xiàn)學(xué)校公共區(qū)域多路視頻與報(bào)警聯(lián)動。4、中心報(bào)警接警軟件采用欣廣安聯(lián)網(wǎng)報(bào)警平臺軟件，該軟件能將一鍵式緊急報(bào)警與防盜報(bào)警，視頻聯(lián)動、等系統(tǒng)完全結(jié)合一起，可以實(shí)現(xiàn)一鍵緊急報(bào)警，公共區(qū)域還能實(shí)現(xiàn)視頻聯(lián)動報(bào)警。
校園一鍵式報(bào)警器介紹
通過GPRS與平臺聯(lián)網(wǎng)報(bào)警1.LCD防區(qū)顯示：中/英文字符顯示
2.停電不停機(jī)，有內(nèi)置鋰電池3.有線/無線兼容，4路有線防區(qū)，3路警示燈牌接線端子，可配各種無線防盜探測器、紅外對射柵欄、煙感、煤氣感、緊急按鈕
4.防拆報(bào)警：非法破壞報(bào)警主機(jī)時，主機(jī)立即發(fā)出高分貝的報(bào)警語音，并同時通過GPRS向接警平臺或者預(yù)先設(shè)置好的電話報(bào)警。
5.低電斷電報(bào)警：信息息通知系統(tǒng)交流斷電或者電池低電信息。如系統(tǒng)與平臺組網(wǎng)使用，則系統(tǒng)也可將此類信息上傳到平臺。6.現(xiàn)場報(bào)警：：內(nèi)置高音喇叭，也可外接警笛，鳴叫時自動切換7.遠(yuǎn)程操作：非報(bào)警情況下，主人輸入正確密碼后能遠(yuǎn)程用電話對系統(tǒng)進(jìn)行布/撤防控制，還可以通過信息的方式或者在接警中心直接對主機(jī)遠(yuǎn)程布撤防功能
8.非法布撤防功能:如果某些探測器處于開放狀態(tài)，則主機(jī)布防時發(fā)出連續(xù)的B音提醒
9.系統(tǒng)自動巡檢功能:分別是主機(jī)自動巡檢,配件自動巡檢,主機(jī)配件整個系統(tǒng)聯(lián)合自動巡檢.整個系統(tǒng)的所有配件自動記時巡檢工作狀態(tài)以及電量情況,定時向主機(jī)報(bào)告情況,主機(jī)向管理中心/平臺定時報(bào)告工作正常與否,時間和設(shè)置為自助可選。
10.現(xiàn)場監(jiān)聽*功能：輸入正確密碼后，在報(bào)警范圍內(nèi)，能清晰地聽到現(xiàn)場作案者的語音、人走動、挖、撬等動作聲音；能遠(yuǎn)程通過電話遙控延長或提前結(jié)束報(bào)警時間及視頻聯(lián)動IPC鏡頭下的情況。
11.外接喇叭接口、靜音/警笛聲報(bào)警轉(zhuǎn)換，外接無線喇叭（和主機(jī)同步布防撤防功能）
12.電源交直流供電自動切換功能：平常交流充電，交流停電自動轉(zhuǎn)換，確保系統(tǒng)萬無一失13.配卷閘門磁使用時，可選擇關(guān)閉卷閘門系統(tǒng)自動布防功能，解決了用戶忘記布防的問題14.帶USB升級接口
15.可接雙色閃爍警示燈牌16. 報(bào)警立即啟動電燈功能17.接警聯(lián)網(wǎng)：GRRS傳輸小區(qū)聯(lián)網(wǎng)報(bào)警平臺功能，能與報(bào)警中心聯(lián)網(wǎng)使用，建立大社區(qū)聯(lián)網(wǎng)中心。也可通過平臺的TTS語音分防區(qū)報(bào)警
18.與大型深安平臺配套使用時：可選加心跳包傳輸,心跳包的間隙時間可由買家自設(shè)（所謂心跳包，是指終端與平臺之間每間隔一定時間就自動連接通訊一次以確保系統(tǒng)處于正常工作狀態(tài)的巡檢功能的一種，如雙方某時未通訊，則平臺報(bào)警）。
報(bào)警發(fā)生后，主機(jī)自動與接警中心通過GPRS連接并撥打用戶電話，接警后，主人能通過電話操作實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程布撤防19.學(xué)習(xí)對碼：方便，快捷。20.可配各種無線防盜探測器、紅外對射柵欄、煙感、煤氣感、緊急按鈕優(yōu)勢：大功率無線接收距離，市面普通的無線接收空曠距離120米，隔幾堵墻就收不到信號了，我們的無線接收距離是普通的5倍，幾個店鋪完全可以共用一臺報(bào)警器。
總之：只要安裝了校園一鍵聯(lián)網(wǎng)報(bào)警平臺，那么您便可以高枕無憂了。不管是校門口的突發(fā)事件，還是校內(nèi)的打斗事件，或者了偷盜事件，這些問題在安裝了平臺和終端產(chǎn)品后都不是問題！
請?zhí)砑?span>“szxgaaf”或掃描關(guān)注欣廣安公眾訂閱號：了解公司最新產(chǎn)品及動態(tài)。
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LBOX-525/2550 3G上網(wǎng)工控機(jī)
3G無線上網(wǎng)工控機(jī)無風(fēng)扇工控機(jī)低功耗工控機(jī)嵌入式工控機(jī)無電纜工控機(jī)
產(chǎn)品PDF資料文件獲取聯(lián)系謝協(xié)協(xié) 13714225711 QQ：2850506296
LBOX-525采用了英特爾凌動D525處理器 + ICH8M的Navy Pier二芯片解決方案。英特爾凌動D525是一款功耗只有13W的45nm制程處理器，主頻1.8GHz，二級緩存1MB；Intel D525+ ICH8M的芯片組搭配提供的性能要遠(yuǎn)高于英特爾其他的低功耗方案。高性能的英特爾凌動無風(fēng)扇低功耗平臺，新一代的硬件應(yīng)用環(huán)境。雙顯支持VGA+LVDS+HDMI，支持豐富的多媒體應(yīng)用
1:鋁合金機(jī)箱，主板芯片與機(jī)箱底部連接，在以往的設(shè)計(jì)方案基礎(chǔ)上有著很大的改革，提高了整機(jī)的散熱效果;
2:主板采用上下雙層連接。避免了以往因?yàn)榻泳太亂，造成的不穩(wěn)定因素，提高整機(jī)防震動級別；
3:獨(dú)顯支持 VGA，支持豐富的多媒體應(yīng)用；
4:DDR3 內(nèi)存最大可以支持8G;2個千兆網(wǎng)卡，穩(wěn)定，安全，抗震，適應(yīng)惡劣的工作環(huán)境；千兆網(wǎng)口提供超強(qiáng)的通信能力;
型號: LBOX-525
硬盤：標(biāo)配SSD16G固態(tài)硬盤（可選SATA硬盤，CF卡硬盤，容量不限可擴(kuò)充）
內(nèi)存：標(biāo)配DDR3代內(nèi)存2G，（可以加大）
串口：6×COM（1×485，5×232/422）
USB口: 4×USB
并口：1×VGA
上網(wǎng)：2×LAN，3G無線網(wǎng)絡(luò)（支持聯(lián)通、電信卡）
主板CPU：Intel（R） 凌動D525 Atom , 1.8GHz
主板芯片：Intel D525+ ICH8M
BLOS： Award BIOS, ACPI supported
規(guī)格： 230×125×60（mm）
重量： 2.5kg
工作環(huán)境溫度： -20°C~60°C （-4°F~158°F）
供電方式： 12V 3A以上電源即可
功耗： 15W
看門狗： 256級
認(rèn)證： CE、FCC、ROHS
謝協(xié)協(xié) 13714225711 QQ：2850506296
主營：工控機(jī)，工業(yè)平板電腦，雙核工業(yè)平板電腦，工控機(jī)主板，工業(yè)電腦主板，嵌入式主板，無風(fēng)扇工控主板，凌動工控主板，低功耗主板，工業(yè)長卡，工控長卡，工控機(jī)長卡，無風(fēng)扇工控機(jī)，嵌入式工控機(jī)，低功耗工控機(jī)，耐高溫工控機(jī)，寬溫工控機(jī)，特種工控機(jī)，全封閉工控機(jī)，防震工控機(jī)，防塵工控機(jī)，微型工控機(jī)，無線上網(wǎng)工控機(jī)，電子路考系統(tǒng)工控機(jī)，工業(yè)控制工控機(jī)，3G上網(wǎng)工控機(jī)，工控機(jī)報(bào)價，工控機(jī)定制，工控機(jī)研發(fā)，工控機(jī)設(shè)計(jì)，電力控制工控機(jī)，觸摸工控機(jī)，工業(yè)一體機(jī)，工業(yè)電腦，工控電腦，工業(yè)顯示器，工控設(shè)備。
德國ECKELMANN控制器 模塊及系統(tǒng)
德國ECKELMANN公司由ECKELMANN先生建立于1970年，到2005年?duì)I業(yè)收入已經(jīng)達(dá)到25，000，000歐元，發(fā)展迅速，在2006年4月1日，ECKELMANN收購了CAN總線執(zhí)行器和控制器的專業(yè)生產(chǎn)商FERROCONTROL， 實(shí)力得到進(jìn)一步鞏固。ECKELMANN的產(chǎn)品擁有一下認(rèn)證： ISO9001：2000；EN ISO 13485:2003, as a supplier for development and production of medicinal products； UL-listed control cabinet manufacturer(UL-File E233027)品質(zhì)值得信賴，在電子，機(jī)械，紡織，玻璃、塑料和金屬加工等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
我公司代理的優(yōu)勢品牌產(chǎn)品：
德國產(chǎn)品： TWK編碼器、TWK傳感器； （賀德克）HYDAC傳感器、HYDAC壓力開關(guān)、HYDAC溫度繼電器； TR編碼器、TR絕對值編碼器、TR增量型編碼器； LENORD+BAUER編碼器、LENORD+BAUER傳感器； HUBNER編碼器、HUBNER測速電機(jī)； COAX電磁閥 NOVOTECHNIK（NOVO）電子尺、位移傳感器； E+L糾偏傳感器，ERHARDT+LEIMER糾偏導(dǎo)正系統(tǒng)、E+L檢測儀、E+L控制器、E+L傳感器、E+L電眼； HIRSCHMANN光纖連接器、HIRSCHMANN光纖接口； WACHENDORFF編碼器； ELCIS編碼器； Dynapar編碼器、Dynapar速度傳感器、Dynapar控制器； BAUER電機(jī)、編碼器、傳感器 費(fèi)蘭克FRAKO電容（FRAKO低壓補(bǔ)償電容器）； ELAU電機(jī)，ELAU控制器，ELAU調(diào)速器，ELAU驅(qū)動器； PINTER MANOCOMB傳感器、MANOCOMB壓力調(diào)節(jié)器； TIPPKEMPER MATRIX傳感器、TIPPKEMPER光電管等。 IPF傳感器； ALTHEN拉力傳感器； SICOD編碼器； GPI光電編碼器、GPI光柵尺； MICROSONIC控制器、MICROSONIC障礙物探測器； FRABA編碼器 PAULY光柵、探測儀、檢測儀
法國產(chǎn)品： 法國RADIO-ENERGIE編碼器-測速電機(jī)、RADIO-ENERGIE離心開關(guān)；
美國產(chǎn)品： MTS傳感器、MTS液位計(jì)（MTS磁致伸縮傳感器）； TB WOOD`S 聯(lián)軸器（連接器）、SURE-FLEX聯(lián)軸器（連接器）； SUN 閥 PACIFIC電機(jī)
日本產(chǎn)品： 新時代NEW-ERA（ERACON）氣缸、NEW-ERA（ERACON）氣爪、NEW-ERA（ERACON）氣動手指、NEW-ERA（ERACON）電源； SUMTAK旋轉(zhuǎn)編碼、SUMTAK傳感器、SUMTAK測速電機(jī) 、SUMTAK光電編碼器； NSD編碼器、NSD控制器、NSD交換器、NSD定位譯碼器（ABSOCODER）； MUTOH編碼器、MUTOH控制器； 澤村電機(jī)SAWAMURA直流電機(jī)；
西班牙產(chǎn)品： 西班牙LIFASA電容器（LIFASA電解電容）；ARTECHE繼電器
瑞典產(chǎn)品： 瑞典LEINE&LINDE編碼器、LEINE&LINDE速度傳感器； 瑞迪JOKAB安全繼電器、JOKAB安全控制器；
英國產(chǎn)品： 英國MODULOC冷熱金屬探測器，MODULOC激光測距儀,MODULOC金屬檢測器； 英國LAND高溫計(jì)、LAND激光準(zhǔn)直系統(tǒng)、LAND INSTRUMENTS紅外測溫儀；
瑞士產(chǎn)品： 瑞士BESTA傳感器；液位開關(guān)，浮球開關(guān)，COMAT電壓繼電器
GSM全球無線移動通訊網(wǎng)絡(luò)控制報(bào)警主機(jī)利用全球GSM短信息數(shù)據(jù)傳輸模式及語音功能平臺完成智能數(shù)據(jù)遠(yuǎn)程傳輸及控制報(bào)警，該主機(jī)集家庭、商店、辦公場所安全，電器控制、私家車遠(yuǎn)方監(jiān)控等智能家居功能為一體，由于GSM全球無線移動通訊網(wǎng)絡(luò)信號覆蓋面積廣，真正實(shí)現(xiàn)了低價的超遠(yuǎn)距離方便、靈活的智能無線控制及報(bào)警，解決了固定電話或有線寬帶網(wǎng)絡(luò)有線報(bào)警的局限性。 GSM全球無線移動通訊網(wǎng)絡(luò)已在全世界普及，因此GSM全球無線移動通訊網(wǎng)絡(luò)控制報(bào)警主機(jī)可廣泛應(yīng)用于單一家庭、小區(qū)物業(yè)、電力、交通、石油、煤炭、鐵道、市政、公安等部門行業(yè)的安防裝置、數(shù)據(jù)監(jiān)測以及遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)。 無線GSM智能防盜報(bào)警器GW10性能指標(biāo)： 1．防區(qū) 有線防區(qū)2路 無線防區(qū)8路（315M、433M）2．GSM GSM 900/1800MHz 發(fā)射功率 1W。3．LED 主機(jī)指示燈 8個。4．?dāng)?shù)據(jù)響應(yīng) 時間 ≤10秒（GSM網(wǎng)絡(luò)正常狀態(tài)） 5．工作電源 電源電壓：AC 220V 50Hz（可選擇）。 整機(jī)功耗：< 3W 后備電池：DC 8.4V 備用電池工作時間（基本配置、GSM發(fā)射待機(jī)）≥10小時。6．工作條件 溫度： -20～+60℃ 濕度： 20～95% 無凝露7．重量 凈重： 0.5Kg 毛重： 0.75Kg8．外形尺寸 外形尺寸：180mm（長）×130mm（寬）×32mm（厚）無線GSM智能防盜報(bào)警器GW10功能特點(diǎn)： ☆ 采用WAVECOM雙頻GSM模塊；☆ 配置八個無線防區(qū)，二個有線防區(qū)；☆ 可通過電話按鍵進(jìn)行遠(yuǎn)程布/撤防操作；☆ 報(bào)警時主機(jī)可自動向已設(shè)三組手機(jī)發(fā)送短信息告警；☆ 報(bào)警時主機(jī)可自動向已設(shè)電話撥號及啟動現(xiàn)場監(jiān)聽；☆ 可通過短信息及語音報(bào)讀雙重模式向遠(yuǎn)程實(shí)時報(bào)告報(bào)警防區(qū)；☆ 主機(jī)操作時，實(shí)現(xiàn)人性化語音提示；☆ 可配置雙向?qū)χv功能；☆ 配置專用的緊急呼叫及火災(zāi)報(bào)警防區(qū)；☆ 配置交流電源失電報(bào)警及其交流電源恢復(fù)遠(yuǎn)程報(bào)告功能；☆ 外部交流電源失電后自動切換至后備電池。
無線GSM智能防盜報(bào)警器GW10套裝配置： 1、報(bào)警主機(jī)1臺 2、無線紅外探頭1個 3、無線門磁1對 4、遙控器2個 5、無線數(shù)字鍵盤1個 6、外接高分貝警號1個 7、電源適配器1個 8、說明書1本
系統(tǒng)組成：
本系統(tǒng)由數(shù)據(jù)采集器、傳感器、視頻監(jiān)控系統(tǒng)、無線傳輸系統(tǒng)、后臺數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)及信息監(jiān)控管理平臺。監(jiān)測子站集成了大氣PM2.5、PM10監(jiān)測、環(huán)境溫濕度及風(fēng)速風(fēng)向監(jiān)測、噪聲監(jiān)測、視頻監(jiān)控及污染物超標(biāo)視頻抓拍（選配）、有毒有害氣體監(jiān)測（選配）等多種功能；數(shù)據(jù)平臺是一個互聯(lián)網(wǎng)架構(gòu)的網(wǎng)絡(luò)化平臺，具有對各子站的監(jiān)控功能以及對數(shù)據(jù)的報(bào)警處理、記錄、查詢、統(tǒng)計(jì)、報(bào)表輸出等多種功能。該系統(tǒng)還可與各種污染治理裝置聯(lián)動，以達(dá)到自動控制的目的。
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是至關(guān)重要的一個工藝環(huán)節(jié)，而涂膠工藝的好壞，直接影響到光刻的質(zhì)量，所以涂膠也顯得尤為必要，尤其在所刻線條比較細(xì)的時候，任何一個環(huán)節(jié)有一點(diǎn)紕漏，都可能導(dǎo)致光刻的失敗。在涂膠工藝中，所用到的光刻膠絕大多數(shù)是疏水的，而晶片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，如果在晶片表面直接涂膠的話，勢必會造成光刻膠和晶片的粘合性較差，甚至造成局部的間隙或氣泡，涂膠厚度和均勻性都受到了影響，從而影響了光刻效果和顯影。
為了解決這一問題，涂膠工藝中引入了一種化學(xué)制劑，即HMDS，它的英文全名叫Hexamethyldisilazane（HMDS），化學(xué)名稱叫六甲基二硅氮甲烷，把它涂到硅片表面后，通過加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主題的化合物，這實(shí)際上是一種表面活性劑，它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起到耦合的作用，再者，在顯影的過程中，由于它增強(qiáng)了光刻膠與基底的粘附力，從而有效地抑制刻蝕液進(jìn)入掩模與基底的側(cè)向刻蝕。 最初，人們用液態(tài)的HMDS直接涂到晶片上，然后借著晶片的高速旋轉(zhuǎn)在晶片表面形成一層HMDS膜。這樣就階段性的解決了基片和光刻膠之間的結(jié)合問題，但隨著光刻線條的越來越細(xì)，膠的越來越薄，對粘附力提出了更高的要求，于是我們研制出了現(xiàn)在的HMDS預(yù)處理系統(tǒng)。
2 HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的優(yōu)越性
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)在于：
（1）預(yù)處理性能更好，由于是在經(jīng)過數(shù)次的氮?dú)庵脫Q再進(jìn)行的HMDS處理，所以不會有塵埃的干擾，再者，由于該系統(tǒng)是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝，同一個容器中進(jìn)行，晶片在容器里先經(jīng)過100℃-200℃的去水烘烤，再接著進(jìn)行HMDS處理，不需要從容器里傳出，而接觸到大氣，晶片吸收水分子的機(jī)會大大降低，所以有著更好的處理效果。
（2）處理更加均勻。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上，所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性。
（3）效率高。液態(tài)涂布是單片操作，而本系統(tǒng)一次可以處理多達(dá)多盒的晶片。
（4）更加節(jié)省藥液。實(shí)踐證明，用液態(tài)HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統(tǒng)處理多盒晶片所用藥液還多；
（5）更加環(huán)保和安全，HMDS是有毒化學(xué)藥品，人吸入后會出現(xiàn)反胃、嘔吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等，由于整個過程是在密閉的環(huán)境下完成的，所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽，也就更加安全，它的尾氣是直接由機(jī)械泵抽到尾氣處理機(jī)，所以也不會對環(huán)境造成污染。
3系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
整個系統(tǒng)由加熱、真空系統(tǒng)、充氮、加藥和控制模塊等5部分組成。
3.1加熱模塊
由于工藝的整個過程都需要在150℃左右的環(huán)境下進(jìn)行，所以自始至終加熱系統(tǒng)都在工作。
本系統(tǒng)采用在腔體外側(cè)加熱，采用人工智能PID調(diào)節(jié)儀實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，調(diào)節(jié)儀控制固態(tài)繼電器的輸出，從而實(shí)現(xiàn)溫度的精確穩(wěn)定控制，測溫采用通用的高精度熱敏電阻Pt100。
3.2真空模塊
由機(jī)械泵、真空組件、真空測量等組成，主要作用是置換氣體和抽走剩余的HMDS蒸汽，不再贅述。
3.3充氮模塊
作用是在置換過程中，用氮?dú)鈦碇饾u稀釋空氣或藥液蒸汽，從而最終替換空氣或藥液蒸汽的氣氛。
主要由氮?dú)庠、控制閥和噴頭組成。
3.4加藥模塊
加藥模塊的作用是在需要的時候把藥液變成蒸汽，均勻的涂布到晶片表面。
它主要由藥液瓶，接口、控制閥和噴頭組成。
3.5控制模塊
控制模塊是本系統(tǒng)的核心模塊，它的作用是控制各個模塊的動作和時序，完成整個工藝過程。
它主要由人機(jī)界面，CPU控制中心，控制接口和輸出部件，報(bào)警等5部分組成。
人機(jī)界面采用臺灣威綸通觸摸屏來實(shí)現(xiàn)參數(shù)、狀態(tài)等界面的顯示和參數(shù)的設(shè)定輸入。PLC采用三凌FX系列小型化PLC。
4軟件組成
整個控制軟件共分4個部分，即自動運(yùn)行、手動控制、參數(shù)設(shè)定、幫助。
當(dāng)按下自動運(yùn)行鍵后，畫面轉(zhuǎn)換到運(yùn)行畫面，顯示當(dāng)前的工藝狀態(tài)，運(yùn)行時間等，同時系統(tǒng)開始運(yùn)行。
首先打開真空泵、開始抽真空、待腔內(nèi)真空度達(dá)到某高真空度（該值可預(yù)設(shè)）后，開始充入氮?dú)，充到達(dá)到某低真空度（該值也可預(yù)設(shè)）后的再次重復(fù)抽真空、充入氮?dú)獾倪^程，達(dá)到設(shè)定的充入氮?dú)獾拇螖?shù)后再次抽真空，然后充入藥液，達(dá)到設(shè)定時間后，停止充入藥液，進(jìn)入保持階段。當(dāng)?shù)竭_(dá)設(shè)定的保持時間后，再次開始抽真空、充入氮?dú)，次?shù)為設(shè)定值，當(dāng)系統(tǒng)自動工作完成后，畫面切換到結(jié)束畫面，同時給出聲光報(bào)警等待取片，在自動工作過程中若出現(xiàn)異？牲c(diǎn)擊運(yùn)行畫面中的停止鍵，隨時終止程序的運(yùn)行。5、 HMDS-90真空系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
內(nèi)部尺寸：450X450X450
電源： AC220V，功率：3000W
真空度： 常壓到—133pa或1TORR以下
材質(zhì)： 內(nèi)部SUS316電解處理 外殼SS41靜電噴涂。
管路： SUS潔凈管
層架； SUS316材質(zhì)
門內(nèi)板： 鋼化玻璃
流程控制：液晶觸摸屏（臺灣威綸通）、PLC控制(三菱)，流程可編輯，可以預(yù)存5組程序。（可根客戶要求可以更改流程）
加熱方式：腔體外側(cè)加溫。 溫度：RT+10℃～ 200℃；微電腦溫度控制器，控溫
精確可靠？販鼐龋1℃，真空室溫度均勻
氮?dú)庋b置：氮?dú)膺M(jìn)入箱內(nèi)有調(diào)壓裝置，控制有自動閥完成。
HMDS裝置：HMDS藥液進(jìn)入箱內(nèi)采用壓力差吸取瓶內(nèi)HMDS方式，自動閥控制
真空泵：抽氣速度4升\秒
工作流程：
首先打開真空泵、開始抽真空、待腔內(nèi)真空度達(dá)到某高真空度（該值可預(yù)設(shè)）后，開始充入氮?dú)，充到達(dá)到某低真空度（該值也可預(yù)設(shè)）后的再次重復(fù)抽真空、充入氮?dú)獾倪^程，達(dá)到設(shè)定的充入氮?dú)獾拇螖?shù)后再次抽真空，然后充入藥液，達(dá)到設(shè)定時間后，停止充入藥液，進(jìn)入保持階段。當(dāng)?shù)竭_(dá)設(shè)定的保持時間后，再次開始抽真空、充入氮?dú)，次?shù)為設(shè)定值，當(dāng)系統(tǒng)自動工作完成后，畫面切換到結(jié)束畫面，同時給出聲光報(bào)警等待取片，在自動工作過程中若出現(xiàn)異常可點(diǎn)擊運(yùn)行畫面中的停止鍵，隨時終止程序的運(yùn)行。